Аэрозольная технология характеризуется следующими особенностями: — метод сравнительно простой и недорогой, в отличие от традиционных методов получения порошков, которые включают многочисленные операции, такие, как предварительная термообработка, смешивание...

---

Метод химического осаждения из паровой фазы представляет собой универсальную технологию. Это один из основных методов осаждения тонких пленок и покрытий для широкой области применений. Можно привести следующие примеры:...

---

Система химического осаждения — более сложная, однако метод имеет преимущества, такие, как возможность получении высокоплотных и чистых материалом, однородных пленок с хорошими адгезией и воспроизводимостью при достаточно высоких скоростях осаждения.

---

Этот метод включает термическую диссоциацию, химическую реакцию газообразных реагентов на нагретой поверхности подложки или вблизи нес с образованием твердых продуктов. Осаждение включает гомогенные или гетерогенные химические реакции, приводящие к образованию порошков или...

---

Метод распыления включает: — тлеющий разряд для получения энергетических частиц (ионов); — перенос ионов к твердой или расплавленной мишени с выбиванием поверхностных атомов или молекул, представляющих распыленные частицы; — конденсацию распыленных частиц.

---