» » Преимущества и недостатки метода химического осаждения из паровой фазы
18.01.2016

Система химического осаждения — более сложная, однако метод имеет преимущества, такие, как возможность получении высокоплотных и чистых материалом, однородных пленок с хорошими адгезией и воспроизводимостью при достаточно высоких скоростях осаждения. Метод может быть применен для создания однородных покрытий на изделиях сложной формы, поскольку не относится к строго направленным процессам. Это является существенным преимуществом метода по сравнению с методом физического осаждения-СУЭ-метод обеспечивает осаждение пленок с хорошим контактом к подложке и получение ультрадисперсных порошков.
Недостаток метода — химическая и пожарная опасность, обусловленные токсичностью, коррозионной агрессивностью, горючестью и взрывоопасностью газового прекурсора. Относительную трудность представляет также осаждение многокомпонентных материалов со строго контролируемой стехиометрией, что связано с различием в скоростях испарения используемых прекурсоров.