» » Преимущества и недостатки метода физического осаждения из паровой фазы
18.01.2016

Преимущества. Вакуумная среда позволяет снизить загрязнение газовой фазы до очень низкого уровня и в связи с этим получить очень чистые пленки или порошки. В процессе осаждения наноразмерные порошки могут собираться и компактироваться непосредственно в массивные изделия высокой степени чистоты.
Метод физического осаждения из газовой фазы представляет собой метод атомного осаждения, что обеспечивает возможность качественного контроля формирующейся структуры путем прецизионного управления параметрами процесса. Кроме того, осажденный материал с нанокристалл и ческой структурой не требует дальнейшего измельчения для уменьшения размера частиц или термической обработки для выжигания составляющих исходного материала.
Недостатки. Метод физического осаждения из газовой фазы имеет следующие основные недостатки:
— Процесс осаждения проводится в условиях низкого давления газовой фазы. Следовательно, требуется вакуумное оборудование, которое усложняет метод и увеличивает его стоимость.
— Синтез многокомпонентных материалов затруднен, за исключением метода лазерной абляции — высокоскоростного распыления мишени под воздействием лазерного излучения. Это связано с тем, что различные элементы имеют различные температуры и скорости испарения. Многие материалы в виде химических соединений частично диссоциируют при термическом испарении, что приводит к образованию нестехиометричеких осадков.
— Метод является вариантом одностороннего направленного осаждения, что затрудняет получение нанокристаллических пленок на поверхностях сложной формы.