Этот метод включает термическую диссоциацию, химическую реакцию газообразных реагентов на нагретой поверхности подложки или вблизи нес с образованием твердых продуктов. Осаждение включает гомогенные или гетерогенные химические реакции, приводящие к образованию порошков или...

Метод распыления включает: — тлеющий разряд для получения энергетических частиц (ионов); — перенос ионов к твердой или расплавленной мишени с выбиванием поверхностных атомов или молекул, представляющих распыленные частицы; — конденсацию распыленных частиц.

Основной процесс испарения представлен на рис. 16.2. Испаритель обычно изготовляют из тугоплавкого металла (W, Та, Мо) в виде спирали, стержня, лодочки или другой специальной формы. Испаряемый материал в виде проволоки, стержня, листа или порошка помещают на испаритель.

Преимущества. Вакуумная среда позволяет снизить загрязнение газовой фазы до очень низкого уровня и в связи с этим получить очень чистые пленки или порошки. В процессе осаждения наноразмерные порошки могут собираться и компактироваться непосредственно в массивные изделия...

Процесс включает формирование частиц паровой фазы путем испарении, распыления или ионного плакирования. В процессе переноса при использовании метода физического осаждения из паровой фазы (РVD-метод) элементы газовой фазы претерпевают столкновения, ионизацию и в дальнейшем могут...

Назад 1 ... 760 761 762 763 764 765 766 767 768 ... 1264 Вперед