Метод химического осаждения из паровой фазы представляет собой универсальную технологию. Это один из основных методов осаждения тонких пленок и покрытий для широкой области применений. Можно привести следующие примеры:...

Система химического осаждения — более сложная, однако метод имеет преимущества, такие, как возможность получении высокоплотных и чистых материалом, однородных пленок с хорошими адгезией и воспроизводимостью при достаточно высоких скоростях осаждения.

Этот метод включает термическую диссоциацию, химическую реакцию газообразных реагентов на нагретой поверхности подложки или вблизи нес с образованием твердых продуктов. Осаждение включает гомогенные или гетерогенные химические реакции, приводящие к образованию порошков или...

Метод распыления включает: — тлеющий разряд для получения энергетических частиц (ионов); — перенос ионов к твердой или расплавленной мишени с выбиванием поверхностных атомов или молекул, представляющих распыленные частицы; — конденсацию распыленных частиц.

Основной процесс испарения представлен на рис. 16.2. Испаритель обычно изготовляют из тугоплавкого металла (W, Та, Мо) в виде спирали, стержня, лодочки или другой специальной формы. Испаряемый материал в виде проволоки, стержня, листа или порошка помещают на испаритель.

Назад 1 ... 759 760 761 762 763 764 765 766 767 ... 1263 Вперед